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ScAlMgO4 결정 기판

설명 ScAlMgO4 (MgScAlO4, SCAM) 결정은 최근 이상적인 기판 재료로 개발 된 GaN 및 ZnO 헤테로 에피 택시의 일종으로, 현재 새로운 기판 재료에서 GaN 및 ZnO와 가장 잘 어울립니다 .ScAlMgO4 결정은 격자 상수 a = 0.3246 인 육각형 시스템입니다. nm, c = 2.5195 ...

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제품 정보

기술

ScAlMgO4 (MgScAlO4, SCAM) 결정은 이상적인 기판 물질로 최근에 개발 된 GaN 및 ZnO 헤테로 에피 택시의 일종으로 현재 새로운 기판 물질에서 GaN 및 ZnO와 가장 잘 일치합니다 .ScAlMgO4 결정은 격자 상수 a = 0.3246 nm 인 육각형 시스템입니다 , c = 2.5195nm, rhombohedron 층 구조, 우르 자이트 질화물 및 산화 아연의 구조와 유사하다 .ScAlMgO4 결정은 GaN 및 ZnO와의 최소 격자 불일치 인 GaN 및 ZnO 에피 택시에 이상적인 기판 재료의 일종이다.

풍모

GaN 및 ZnO와의 최상의 격자 매치

연마 후 높은 투과율

높은 경사 효율

응용 프로그램


ScAlMg2O4 기판


주요 사양

기재

ScMgAlO4

정위

[0001] 또는 [10-10] <± 0.5="">

평행

10 "

수직

5'

표면 품질

10/5

파면 왜곡

λ / 4 @ 632nm

표면 평탄도

λ / 8 @ 632nm

조리개 지우기

> 95 %

챔퍼

<0.1 ×="" 45="">

두께 / 직경 공차

± 0.05 mm

최대 크기

직경 50 × 100mm

코팅

AR / AR @ 940 + 1030; HR @ 1030 + HT @ 940 + AR1030;

재료 특성

물리 화학적 특성

등록 정보

ScMgAlO4

결정 구조

육각형 결정계

격자 상수

a = 0.3246nm c = 2.5195nm

밀도

3.64g / cm3

모스 경도

4-5 Mohs

열팽창 계수

A = 7.45 × 10-6 / ℃

표준 제품

정위

최종 구성, nm

두께, nm

[1 0 0]

5 × 5

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

8 × 8

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

10 × 10

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

15 × 15

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

다이아 25.4

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

직경 50.8

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]


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